郑州成越科学仪器有限公司

高真空微型管式炉由高纯石英管做加热反应腔，温度可达1200℃，可外接多种惰性气体，能满足大多数CVD实验要求，该系统是科研单位、高等院校用于材料研究的理想选择　该设备由小型真空管式炉和涡轮分子泵组组成，分子泵组的主要部件有：前级机械泵，隔断放气阀，前级管路、分子泵电源，控制电源等组装于机架而成的清洁超高真空获得设备。安装方便，操作简单，易于联接，性能可靠，可广泛用于表面分析，加速器技术，半导体设备，等离子体技术，电真空器件的制造及真空技术各领域；小型真空管式炉由高纯石英管做加热反应腔，温度可达1200℃，可外接多种惰性气体，能满足大多数CVD实验要求，该系统是科研单位、高等院校用于材料研究的理想选择。

产品名称	高真空微型管式炉
产品型号	CY-O1200-50ICS-HTV
工作温度	≦1200℃
控温精度	±1℃
控温模式	多段可编程控制
炉管材质	高纯石英
炉管直径	50mm
炉管长度	700mm
加热温区	200mm
恒温区长	100mm
密封方式	不锈钢真空法兰
连接管道	KF25高真空波纹管
真空测量	数字式复合真空计
进气口法兰	DN100LF
抽气速率L/S（对空气）	＞110
压缩比    N2           H2	＞108 5×102
极限压强（Pa）	6×10-6
排气口法兰	KF25
使用轴承	精密机械轴承
输入电压频率（V/Hz）	220±20/50
环境温度（℃）	0～40
前级泵型号	RVP-4
启动时间（min）	＜3
额定工作转数（rpm）	42，300
冷却方式	水冷可风冷
安装方式	任意
重量（公斤）	115
长×宽×高	500×510×985
供电电源	AC:220V 50Hz
整机功率	2.5KW